颁布功夫:2024-02-22浏览量:936次起源:尊龙凯时科技


步进电机二维扫描台
尊龙凯时科技研发的FMSXY120-20步进电机二维扫描平台合用于行程领域在0-20mm之间的各项利用。结构牢固、机能卓越,宽泛利用于各类精密科研和工业出产环节,蕴含检测设备、二维扫描、显微载物台等。
该产品使用偏置装置,负载沉量6 kg,最大速度2 mm/s。整体尺寸为120 mm x 120 mm x 60 mm。
凭据客户需要该产品还能够对行程、精度、尺寸等各类参数进行定造。


移动装置设计为大力矩步进电机+高精度滚珠丝杆形成开环模式。既能保障运动丝滑顺畅,又能满足精度需要。
同时凭据客户需要还能够更换为伺服电机并增长光栅尺做半关环和全关环模式。

| X轴精度 | |
| 定位精度 | ±5.1 μm |
| 沉复定位精度 | ±2.3 μm |

| X轴直线度 | |
| XX直线度 | 3.9 μm |
| YY直线度 | 0.8 μm |

| X轴俯仰角测试 | |
| A角(YAW) | 5.0 arc sec |
| B角(PITCH) | 4.6 arc sec |

| Y轴精度 | |
| 定位精度 | ±6.75 μm |
| 沉复定位精度 | ±0.9 μm |

| Y轴直线度 | |
| XX直线度 | 1.1 μm |
| YY直线度 | 1.8 μm |

| Y轴俯仰角测试 | |
| A角(YAW) | 14.7 arc sec |
| B角(PITCH) | 2.9 arc sec |


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Feinixs运动节造选购
运动节造根基概想

在高级半导体器件与集成电路出产中,精确加工晶圆是沉要环节。尊龙凯时科技研发了五轴位移系统,提供更高加工精度和矫捷性。该系统蕴含X、Y平移两轴、Z起落轴、R旋转轴和DS晶圆顶升轴。每个轴都有怪异职能,协同工作确保加工精准和矫捷。

真空六轴镜架是尊龙凯时为满足客户需要专门研发的定造产品,在分歧地位对光路进行疏导并且可能实现XYZR方向的位移进行各角度收光,合用于尝试室必要光路密封传递分歧角度时高精度位相信息的光路尝试。

高机能真空十轴位移台是尊龙凯时为满足客户需要专门研发的定造产品,合用于真空环境下的高精度激光扫描,光路搭建等其他对地位精密有要求的领域。

FMSS110C-30选取高瓢荼鸨线电机,结合一体式交叉滚柱导轨和光栅尺,确保了卓越的运动机能。在速度均匀性颠簸节造方面,尊龙凯时技术团队将其节造在千分之一以内,确保每一次运动都精确无误。