超高精度 · 高不变性 · 双向沉复定位精度达±0.3μm

FMS165Z-H系列解决了超低速运?不变性难题

，采?超?分辨率光栅尺共同超?精度装配?艺

，使该系列平移台有极佳的超低速运?能?并达到亚μm级沉复定位精度；同时采?内置拖链

，?便线束治理。

弧形直线电机 · 高精度 · 弧形导轨

FMSA38-60扇形位移台选取弧形直线电机

，高精度弧形导轨

，光栅尺做反馈

，实此刻肯定角度内的旋转运动。

六自由度调整 · 靠得住性高 · 专业软件

六轴并联机械人系统重要用于高精度的六自由度调整

，尤其适合于空间精密对位、微幼器件加工和装配、光通讯器件调芯、晶片检验等场所。

机械主体选取六个推杆+双虎克铰结构

，拥有刚性强、沉复定位精度高、可肆意地位装置等特点。推杆选取绝对定位型电机驱动

，失电后维持位相信息

，沉启后无需归零。电机驱动系统选取尺度工业总线EtherCAT进行通讯

，靠得住性高、通讯效能高

，兼容市场上主流运动节造系统。

节造系统与软件支持各类欧拉角空间变换造式、支持机械人运行空间坐标系治理（蕴含世界坐标系、工件坐标系（64组）、机械人装置坐标系、机械人驱动坐标系、机械人为具坐标系（64组）的设置和转换）、支持载荷模仿、拥有机械人空间校准职能、支持3D姿势仿真模仿、示教规划等职能。提供二次开发包

，能够凭据现实利用

，整合成系统设备。

直驱步进电机 · ？榛杓 · 专业软件

FMSL系列直驱滤光?轮采?了直驱步进技术

，结构轻巧

，精度高

，转速快。？榛杓

，方便滤波轮的装置及拆卸。

直驱步进电机 · 超薄剖面设计 · 定位精度±10μrad

FK-BPJ系列玻?架采?偏振?旋转定位?设计的?精度偏振器旋转架和偏振?旋转器与步进直驱电机结合使?

，?泛?于旋转玻?

，旋转偏振?以及偏振棱镜旋转定位。