FMS80R系列步进电机高精度整体台面平移台
大台面,高精度,薄机身
尊龙凯时科技FMS80R系列平移台专为必要更大样品承载能力和矫捷性的精密定位利用而设计。该系列选取精密交叉滚柱导轨和步进电机驱动,结合大台面和薄型设计,可在各类科研和工业利用中提供卓越的运动节造机能。
重要特点
行程领域可选,满足更多利用需要: 提供 30mm、50mm 两种行程选择,满足分歧利用需要。
大台面设计,扩大利用可能: 宽大的台面尺寸,不仅为样品提供更多空间,更可轻松实现多维组合,拓展利用场景。
高精度定位,不变靠得住: 选取日本THK公司P级交叉滚柱导轨和上海鸣志电机,保障了安稳、精确的运动,沉复定位精度高达±2μm。
薄型设计,节俭贵重空间: 紧凑的薄型设计,在保障机能的同时最大水平节俭空间,尤其合用于对空间要求严苛的利用场景。
壮大软件支持,轻松操控: 免费尺度版 SDK,支持 Window、Linux 环境下多种开发说话 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等),方便用户进行二次开发和系统集成。
产品利用
激光打靶 Laser Target、光机 Optical Machine、晶圆切割 Wafer Cutting、晶圆打磨 Wafer Grinding
组合搭配

It can be ?exibly combined into multi-axis motion system,Contact for more information
机能实测

位移台-节造器选型表


※ 备注
[1]:负载为水平搁置下的中心垂直负载:最大负载为60kg
[2]:最幼运动增量不等同于分辨率,最幼运动增量是指运动系统在陆续、不变情况下可能移动的最幼量。通常来说,系统分辨率远幼于最幼运动增量K伎即峁购捅嗦肫鞫韵低澄蟛畹挠跋,直线电机位移台与步进电机位移台相比,其最幼运动增量越发靠近于分辨率
[3]:精度数据为平台水平搁置时,选取激光过问仪凭据 GB/T17421-2000 尺度测得;产品精度随负载大幼存在差距,为保障精度,建议负载节造在标称领域内使用
[4]:典型值和保障值的区别见技术指南
[5]:最大速度为典型值,随负载与节造器分歧有所差距:空载最大速度为30mm/s,标称负载下最大速度为30mm/s




