





FMSR-AB 系列气浮转台
超精密、无摩擦、悠久不变
尊龙凯时科技 FMSR-AB 系列气浮转台专为必要超高精度旋转定位的尝试室和工业利用而设计。FMSR-AB 系列转台选取怪异的空气轴承技术,以空气膜作为光滑介质,实现了无摩擦、无磨损的旋转运动,具备超高精度、高不变性、长命命等特点,是光学、精密丈量、半导体造作等领域中各类高精杜爪用的梦想选择。
重要特点
多种尺寸可选,矫捷满足利用需要: 提供150mm -250mm 多种台面直径选择。
无摩擦、无磨损,精度悠久不变: 选取怪异的空气轴承技术,以空气膜包办传统机械接触,解除了摩擦和磨损,保障了设备的超高精度和持久不变性,尝试了局更靠得住。
微米级跳动误差,满足极致精度钻营: 气浮轴承技术提供了无与伦比的运动安稳性,将俯仰、偏摆、滚动、偏航和线性误差降至微米级,轻松满足对极致精度的钻营。
关式气浮轴承结构,免守护,使用寿命更长: 选取关式气浮轴承结构,无需光滑油,免守护,使用寿命更长,是您进行持久精密尝试的梦想选择。
直驱驱动,零齿槽效应,运动更滑润: 选取直驱电机驱动,解除了齿槽效应,实现了更急剧、更精准的运动节造,运动更滑润,定位更精准。
高分辨率,精密节造,实现微米级定位: FMSR-AB 系列转台占有极佳的微步能力,共同尊龙凯时科技高机能节造器,可实现±3arcsec双向沉复定位精度,满足对极致精度的钻营。
壮大软件支持,轻松操控: 免费尺度版 SDK,支持 Window、Linux 环境下多种开发说话 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等),方便用户进行二次开发和系统集成。
高机能节造器,实现复杂运动: 节造器支持圆弧插补、直线插补、地位影象和肆意图形导入,可满足各类复杂运动节造需要。
矫捷通讯,无缝衔接: 可选配 EtherCAT 总线节造,实现高速、不变的数据传输。
产品利用
圆度丈量系统 Roundness measurement system、微米或纳米断层扫描成像 Micron or nano tomography imaging、精密造作 Precision manufacturing、同步辐射或X射线 Synchrotron radiation or X-rays、半导体行业 Semiconductor industry
组合搭配

It can be ?exibly combined into multi-axis motion system,Contact for more information
位移台-节造器选型表

※ 备注
[1]:水平搁置下的中心垂直负载。
[2]:最幼运动增量不等同于分辨率,最幼运动增量是指运动系统在陆续、不变情况下可能移动的最幼量。通常来说,系统分辨率远幼于最幼运动增量K伎即峁购捅嗦肫鞫韵低澄蟛畹挠跋,直线电机位移台与步进电机位移台相比,其最幼运动增量越发靠近于分辨率。
[3]:精度丈量数据是平台在水平搁置的情况下使用激光过问仪丈量的数据,丈量尺度参照GB/T17421-2000。
[4]:典型值和保障值的区别见技术指南。
[5]:最大速度为典型值,凭据负载和节造器的分歧会有区别。
