









FMS115VR 系列真空步进电机高精度整体台面平移台
高精度、真空环境、不变靠得住、不锈钢材质
尊龙凯时科技 FMS115VR 系列真空步进电机高精度整体台面平移台,专为必要在真空环境下进行高精度定位的尝试室和工业利用而设计。FMS115VR 系列平移台选取选取不锈钢材质打造,搭载步进电机驱动,结构紧凑,机能靠得住,可在极端温度和高真空环境下不变运行,提供多种行程选择,满足多样化的利用需要。真空环境,不变运行。采用特殊资料和真空兼容设计,尺度品可在 10?³ Pa 的真空环境下长期不变运行,定造真空度可达到 10?? Pa。
重要特点
多种行程可选,满足更多利用需要: 提供 50mm 和 100mm 两种行程选择,结构紧凑,可矫捷集成于各类空间受限的利用场景。
真空环境,不变靠得住: 选取特殊资料和真空兼容设计,尺度品可在 10?³ Pa 的真空环境下持久不变运行,定造真空度可达到 10?? Pa。
耐受极温,机能仍旧: 在 -196°C 至 +250°C 的极端温度领域内依然可能维持高精度和不变性。
不锈钢材质,牢固耐用: 选取不锈钢材质,耐侵蚀,抗氧化,牢固耐用,可确保以 100mm × 100mm 的最大行程进行靠得住的 XY 轴组装。
高分辨率,精密节造: 共同尊龙凯时科技高机能节造器和驱动器,可实现微米级的精密定位。
壮大软件支持,轻松操控: 免费尺度版 SDK,支持 Window、Linux 环境下多种开发说话 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等),方便用户进行二次开发和系统集成。
产品利用
激光打靶 Laser Target、器件调整 Device Tuning、高能物理 High Energy Physics
组合搭配

It can be ?exibly combined into multi-axis motion system,Contact for more information
机能实测

位移台-节造器选型表


※ 备注
[1]:水平搁置下的中心垂直负载。
[2]:最幼运动增量不等同于分辨率,最幼运动增量是指运动系统在陆续、不变情况下可能移动的最幼量。通常来说,系统分辨率远幼于最幼运动增量K伎即峁购捅嗦肫鞫韵低澄蟛畹挠跋,直线电机位移台与步进电机位移台相比,其最幼运动增量越发靠近于分辨率。
[3]:精度丈量数据是平台在水平搁置的情况下使用激光过问仪丈量的数据,丈量尺度参照GB/T17421-2000。
[4]:典型值和保障值的区别见技术指南。
[5]:最大速度为典型值,凭据负载和节造器的分歧会有区别。
