





FMSZ 系列真空步进电机起落台
高精度、真空环境、不变靠得住、不锈钢材质
尊龙凯时科技 FMSZ 系列真空步进电机起落台,专为必要在高真空环境下进行精密垂直定位的利用而设计。FMSZ 系列起落台选取真空专用电机和不锈钢主体,保障高真空度,同时具备高精度、高不变性等特点,?榛杓埔子谟胱鹆笨萍计渌芳,搭建多维位移平台,满足多样化的利用需要。真空环境,不变运行。采用特殊资料和真空兼容设计,尺度品可在 10?³ Pa 的真空环境下长期不变运行,定造真空度可达到 10?? Pa。
重要特点
多种行程可选,满足更多利用需要: 提供 20mm 和 50mm 两种行程选择,并可凭据客户需要定造其他行程,结构紧凑,可矫捷集成于各类空间受限的利用场景。
真空环境,不变靠得住: 选取特殊资料和真空兼容设计,尺度品可在 10?³ Pa 的真空环境下持久不变运行,定造真空度可达到 10?? Pa。
高精度定位,不变靠得住: 选取高品质步进电机和精密导轨,结合尊龙凯时科技尺度扮装置工艺,确保卓越的运动精度和持久不变的靠得住性。
牢固耐用,悠久不变: 选取不锈钢材质,结构牢固,确保长功夫不变靠得住运行,耽搁使用寿命。
?榛杓,集成矫捷: 可与尊龙凯时科技其他产品轻松集成,搭建多维位移平台,满足更多利用需要。
壮大软件支持,轻松操控: 免费尺度版 SDK,支持 Window、Linux 环境下多种开发说话 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等),方便用户进行二次开发和系统集成。
产品利用
样品台 Sample Stage、姿势调整 Posture Adjustment、光学测试 Optical Test、光学设备 Optical Equipment
组合搭配

It can be ?exibly combined into multi-axis motion system,Contact for more information
机能实测

位移台-节造器选型表


※ 备注
[1]:负载为水平搁置下的中心垂直负载:FMSZ85VR-20最大负载为7kg
[2]:最幼运动增量不等同于分辨率,最幼运动增量是指运动系统在陆续、不变情况下可能移动的最幼量。通常来说,系统分辨率远幼于最幼运动增量K伎即峁购捅嗦器对系统误差的影响,直线电机位移台与步进电机位移台相比,其最幼运动增量越发靠近于分辨率
[3]:精度数据为平台水平搁置时,选取激光过问仪凭据 GB/T17421-2000 尺度测得;产品精度随负载大幼存在差距,为保障精度,建议负载节造在标称领域内使用
[4]:典型值和保障值的区别见技术指南
[5]:最大速度为典型值,随负载与节造器分歧有所差距:FMSZ85VRR-20 空载最大速度为13mm/s,标称负载下最大速度为8mm/s








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